Développement d’un modèle hydrodynamique-radiatif multidimensionnel des plasmas d’étain pour l’optimisation des sources EUV à 13.5 nm

L’émission ultraviolette extrême (EUV) à 13.5 nm du plasma d’étain est essentielle pour la nanolithographie de nouvelle génération dans l’industrie des semi-conducteurs, mais l’optimisation de son efficacité de conversion constitue un défi. Comprendre comment les paramètres laser, tels que la longueur d’onde, la durée d’impulsion et la structure temporelle, influencent la dynamique du plasma et le rendement EUV est essentiel pour concevoir des sources EUV plus efficaces, compactes et robustes. Ce projet consiste à développer un modèle hydrodynamique-radiatif 2D afin de simuler les interactions laser-étain, en prenant en compte l’absorption laser, l’expansion du plasma et les processus d’émission EUV. Ce modèle utilisera des paramètres expérimentaux en entrée et sera validé à l’aide de données sur le rendement et la spectroscopie.

L’établissement d’accueil, l’Institut national de la recherche scientifique (INRS), Centre énergie matériaux télécommunications, situé à Varennes (Québec, Canada), est une université de recherche et de formation de 2^e et 3^e cycles, affiliée au réseau de l'Université du Québec, qui se consacre à l’avancement des connaissances scientifiques et à la formation d’une relève hautement qualifiée dans des secteurs stratégiques.

Le candidat retenu disposera idéalement de solides bases en physique, de préférence en physique des plasmas et en interaction laser-matière, ainsi que d'un vif intérêt pour la modélisation informatique de phénomènes physiques.